工作原理

• 多級壓縮原理：EBABR 荏原化干式真空泵主要基于多級壓縮的工作原理。泵由多級轉子構成，每級轉子由兩個反向旋轉的螺桿轉子組成。氣體從吸入口進入泵腔后，在轉子的旋轉作用下，被不斷壓縮并向排出口方向輸送。隨著氣體在各級泵腔中依次被壓縮，其壓力逐漸升高，最終實現真空環境的建立和氣體的排出
• 螺桿轉子原理：螺桿轉子是泵的核心部件，其的設計使得氣體在泵腔內能夠高效地進行壓縮和傳輸。轉子之間的精密配合和相互嚙合，確保了氣體在壓縮過程中的密封性和連續性，從而提高了泵的抽氣效率和真空度。轉子的同步旋轉通過高精度的齒輪傳動系統實現，保證了運轉的穩定性和可靠性
• 溫度控制原理：泵在運行過程中會產生大量的熱量，為了保證泵的性能和延長使用壽命，采用了先進的溫度控制技術。通過在泵體上設置冷卻夾套，利用冷卻水的循環帶走熱量，將泵的溫度控制在設定范圍內。同時，還可以通過調節冷卻水的流量和溫度，實現對泵溫的精確控制，以適應不同的工藝要求

參數信息

• 性能參數：以 EV - X 型為例，其最大處理風量為 10,000L/min - 30,000L/min，到達壓力可達 0.5Pa在極限壓力下，消耗電力約為 0.9kW - 1.5kW。不同型號可滿足多種工藝需求，如酯化、CVD、灰化、離子植入、外延生長等
• 電源參數：電源規格一般為三相 200 - 220V (50/60Hz )，適用于常見的工業電源環境，能保證泵的穩定運行
• 兼容性參數：可應對腐蝕性氣體，采用標準耐腐蝕性材料制造，如鎳基合金等，具有優異的耐化學腐蝕性能，能適應化工、制藥等行業中具有腐蝕性的氣體環境不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩定性能，可支持 CE 標志 / SEMI - S2/NRTL 等標準，具有較高的通用性和國際兼容性
• 物理參數：設計結構緊湊，占地面積小，節省了寶貴的廠房空間，便于安裝在各種設備中或生產線上，尤其適用于空間有限的應用場景

產品特征

• 無油運行與清潔性能 ：實現了無油運轉，在抽氣過程中不會產生油污染，確保了處理的氣體純凈無油，適用于對清潔度要求高的工藝過程，如半導體制造、食品加工、醫療等領域。
• 節能與經濟性 ：具有低能耗的特點，搭載了荏原的節能技術，如轉速自動調節功能等，可根據實際的抽氣需求自動調整電機轉速，降低能源消耗。在不同負荷條件下都能保持較高的運行效率，有效降低了生產運行成本。
• 耐腐蝕性 ：可耐受腐蝕性氣體，采用標準耐腐蝕性材料制造，如鎳基合金等，具有優異的耐化學腐蝕性能，能適應化工、制藥等行業中具有腐蝕性的氣體環境，延長了泵的使用壽命。
• 緊湊結構與占地小 ：設計結構緊湊，占地面積小，節省了寶貴的廠房空間，便于安裝在各種設備中或生產線上，尤其適用于空間有限的應用場景。
• 智能控制與通信功能 ：具備豐富的附加功能，如通信功能等，可實現與上位機或其他設備的實時數據傳輸和遠程監控。通過通信接口，用戶可以方便地獲取泵的運行參數、故障信息等，并進行遠程操作和控制。
• 低噪音與高可靠性 ：運行平穩，噪音低，采用了先進的隔音技術和減震措施，降低了泵在運行過程中產生的噪音和振動，為操作人員提供了更加舒適的工作環境。同時，經過嚴格的質量檢測和可靠性測試，確保了泵在長期運行中的穩定性和可靠性。